一般的な研究用途は、次のとおりです。
- 表面科学
- 触媒作用
- 冶金学
- 太陽光発電
- 半導体
- エネルギー
- コンビナトリアル材料の研究
M-UHV システムは、次の各種 UHV 分析手法の統合のための優れたプラットフォームです :
- X 線光電子分光装置（ XPS ）
- オージェ電子分光法（ AES ）
- エネルギー損失分光（ ELS ）
- 紫外線光電子分光装置（ UPS ）
- 走査型電子顕微鏡（ SEM ）
- 走査型オージェ顕微鏡（ SAM ）
- 昇温脱離法（ TPD ） / 昇温反応分光（ TPRS ） / 熱放出分光分析（ TDS ）
- 反射高エネルギー電子線回折（ RHEED ）
- イオン散乱分光（ ISS ）
- 二次イオン質量分析法（ SIMS ）
- 走査型トンネル顕微鏡（ SAM ）
- 高分解能電子エネルギー損失分光（ HREELS ）
- ・・・など