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薄膜

薄膜は、厚さ1ナノメートルから数ミクロンまでの分数範囲の材料層です。薄膜技術はここ数十年の間に改良されおり、信頼性の高い製品を最高品質に到達する必要があります。薄膜成膜プロセスに関して、ライボルトはこの用途の要件を満たすクラス最高の真空装置とドライ DRYVAC / RUVAC 排気システムを提供します。

薄膜蒸着用 DRYVAC / RUVAC システムの利点

ドライ圧縮ポンプ付きポンプシステム

高い水素ポンプの排気速度
耐粒子
一般的なプロセスガス用メディアと高い親和性
動作パラメータおよびルートポンプ制御の統合された監視
調整可能な温度とパージガスフロー
Profi バスを経由して制御可能なパラメータ

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